一种微电子加工用多工位清洁设备.pdfVIP

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  • 2024-03-30 发布于四川
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本实用新型公开了一种微电子加工用多工位清洁设备,其涉及微电子产品加工清洁技术领域,旨在解决现有的清洁设备缺乏多工位加工操作,电路基板清洁效率有待提高的问题,其技术方案要点包括皮带输送机,所述皮带输送机的对称两侧处分别设置有一个清洁座,所述清洁座的侧表面上设置有动力机构,所述清洁座的内壁上旋转连接有多根输送辊,所述输送辊的一端与动力机构的输出端固定连接,所述清洁座的下表面上固定连接有第二导液管,所述第二导液管的管路中固定安装有输送泵,所述第二导液管的一端固定连接有过滤壳体。达到了能进行多工位清洁操

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220678761U

(45)授权公告日2024.03.29

(21)申请号202322325486.3

(22)申请日2023.08.29

(73)专利权人上海思恩装备科技股份有限公司

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