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本发明涉及半导体加工技术领域，本发明公开了半成品卷边装置，包括：底座；卷边机构，卷边机构包括旋转驱动器、卷边头、升降座、升降驱动器、定位台、缓冲结构，升降驱动器与升降座驱动连接，定位台设在升降座上，缓冲结构与升降座连接；上料机构，上料机构包括上料滑槽、推料驱动器和推料头，上料滑槽设在底座上，推料驱动器设在底座上，推料驱动器与推料头驱动连接带动推料头向定位台移动。该半成品卷边装置通过配置上料机构实现了圆筒状零件的自动上料，通过卷边机构实现对圆筒状零件立起面的内折，同时配置了缓冲结构，能够降低产品损
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117772881A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202311729830.3
(22)申请日2023.12.15
(71)申请人杭州尚格半导体有限公司
地址3
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