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本申请涉及一种磁棒组件及磁控溅射设备。磁棒组件包括磁轭基板以及设置于磁轭基板上的多个磁组，多个磁组沿第一方向排布，每个磁组包括沿第二方向排列的多个第一磁铁；多个磁组包括至少一个中部磁组和位于中部磁组两侧的边部磁组；至少一个磁组中的多个第一磁铁的充磁方向沿第二方向呈周期性变化。如此设置，可以使形成的电子跑道中段部分呈现为周期性变化的波形，由此，可以改善电子向电子跑道两端漂移的现象。波形中波峰区域等离子体浓度上升，波谷区域等离子体浓度下降，即等离子体浓度呈现为周期性变化，这样，可以保证电子跑道整体上
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117790109A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202410041224.0
(22)申请日2024.01.11
(71)申请人苏州迈为科技股份有限公司
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