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用于电沉积纳米孪晶铜的组合物和方法.pdfVIP

用于电沉积纳米孪晶铜的组合物和方法.pdf

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    一种铜电解质包含铜盐、卤离子源以及直链或支链的多羟基化合物。该铜电解质用于在基板上沉积具有高密度纳米孪晶柱状铜晶粒的铜。该直链或支链的多羟基化合物可包括2,3‑环氧‑1‑丙醇与胺化合物之间的反应产物。还可将包含聚合物季氮物质的整平剂和/或包含有机硫化合物的促进剂添加到该铜电解质中，只要保持纳米孪晶柱状铜晶粒即可。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117795135A

    (43)申请公布日2024.03.29

    (21)申请号202280053497.6(74)专利代理机构北京同立钧成知识产权代理

    (22)申请日2022.07.

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