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一种用于半导体制造工厂的自动环境实时检测系统.pdfVIP

一种用于半导体制造工厂的自动环境实时检测系统.pdf

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    本发明公开了一种用于半导体制造工厂的自动环境实时检测系统，涉及半导体制造工厂环境监测技术领域；用于解决现有半导体制造工厂环境监测存在监测覆盖性有限以及无法全天候监测和有效扫除风险盲区问题；本发明通过环境侦测装置实现24小时全天候监测，且可实时的将收集到的环境资讯传输到指定服务器上，且与自动化移载机器人的配合，可进行全厂区的巡检，以达到高覆盖率的环境检测；通过资料分析单元对环境数据进行处理分析，根据处理后的数据进行相应的信号处理，并调度移载机器人依据对应的行驶路径进行环境数据的采集，以便于对危险环

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117782189A

    (43)申请公布日2024.03.29

    (21)申请号202211140996.7G08C17/02(2006.01)

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