东南大学材料学院表面微细加工技术简介.docx

外表微细加工技术简介

一、外表微细加工技术

外表技术的一个重要组成局部

微电子工业重要的工艺技术根底

工艺精度打算了集成电路的特征尺寸

微米量级、亚微米量级、纳米量级

微型传感器、微执行器〔微马达、微开关、微泵等〕、微型机器人、微型飞机、微生物化学芯片等

外表微细加工技术：

光刻加工 电子束加工 离子束加工 激光束微细加工

超声波加工 微细电火花加工 电解加工 电铸加工

光刻加工

光刻加工

复印图像+化学腐蚀

广泛应用平面器件和集成电路

光刻三要素：光刻胶、掩膜版和光刻机

光刻胶又叫光致抗蚀剂，它是由光敏化合物、基体树脂和有机溶剂等混合而成的胶状液体

光刻胶受到特定波长光线的作用后，导致其化