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一种碳化硅生长晶余料回收装置及方法.pdfVIP

一种碳化硅生长晶余料回收装置及方法.pdf

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    本申请公开了一种碳化硅生长晶余料回收装置及方法，包括吹分装置，包括散料容器和吹散组件，散料容器倾斜设置，散料容器的较低端设置有第一出料口，散料容器的较高端设置有第二出料口，吹散组件设置于散料容器内，吹散组件位于第一出料口和第二出料口之间，吹散组件上设置有至少一个气嘴，气嘴适于吹散余料，并使至少部分余料向第二出料口方向活动；下料装置，下料装置适于将余料送入散料容器内，余料适于沿散料容器滑落并经过吹散组件；收集装置，收集装置适于吸取活动至第二出料口处的余料，本申请具有操作简单，流程精简，生产成本低的

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117772604A

    (43)申请公布日2024.03.29

    (21)申请号202311807801.4B08B13/00(2006.01)

    (22)申请日2023.12.

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