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本发明涉及一种基于接触法的等离子体离子能量测量装置，包括壳体和支撑座，壳体内部设有前后两端敞口的筒状内腔，筒状内腔内设有屏蔽罩层和收集极以及在屏蔽罩层和收集极之间设有若干交叠设置的绝缘隔离板和栅网；屏蔽罩层上离子体进入孔与绝缘隔离板上绝缘通孔连通形成离子体阻滞腔，收集极上设有与离子体阻滞腔连通的第一通气孔；支撑座上设有接线孔，接线孔内设有电缆接头座，电缆接头座上设有与第一通气孔连通的第二通气孔。本发明，通过第一通气孔和第二通气孔将多余工质气体排出，避免离子体阻滞腔内压力过高影响收集极采集结果的准
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117794038A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202410128411.2
(22)申请日2024.01.30
(71)申请人北京东方计量测试研究所
地址1
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