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本发明公开一种微机电系统振荡器，设置有MEMS裸片和CMOS裸片，微机电系统振荡器包括：谐振器，设于MEMS裸片上，谐振器用于振动并产生振荡信号；TIA振荡子电路，TIA振荡子电路与谐振器电连接，用于接收振荡信号以驱使谐振器振动，且基于振荡信号输出相应的频率信号；电荷泵电路，包括电连接的供能单元和电荷泵升压单元，供能单元设于CMOS裸片上，供能单元为电荷泵升压单元提供供能信号，电荷泵升压单元设于MEMS裸片上且与谐振器电连接，电荷泵升压单元用于对供能信号进行升压转换以生成偏置电压并施加给谐振器，
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117792287A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202311851051.0
(22)申请日2023.12.29
(71)申请人麦斯塔微电子（深圳）有限公司
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