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第一章 绪论 错误!未定义书签。

课题背景及研究意义 错误!未定义书签。

螺杆真空泵在国内外的研究现状与进展方向 5

第二章 螺杆干式真空泵转子型线的研究 7

常见转子型线比较 7

多头双边对称圆弧型线 8

转子型线要素 9

2.2.3多头双边对称圆弧型线方程 11

第三章螺杆干式真空泵工作原理 15

第四章螺杆干式真空泵设计计算 18

螺杆大体尺寸 18

排气量 20

理论排气量 20

实际排气量 20

进排气孔口 21

轴向进气口 21

轴向排气口 22

极限真空度、功率及冷却水量 22

轴的强度计算 23

同步齿轮的设计计算 23

齿轮尺寸计算 23

齿轮强度校核 24

参考文献： 错误!未定义书签。

螺杆式干式真空泵

摘要：最近几年来在半导体工业和液晶显示器制造等工艺中，对清洁真空环境的要求愈来愈高。如在半导体的等离子增强气相沉淀(PECVD)和反映离子刻蚀(RIE)工艺中，在液晶生产上利用的蚀刻制程和生产TFT荧幕电浆(PLASMA)的CVD制程中，不但要求环境清洁，而且还需要抽除大量含有微小颗粒及粉尘的反映生成气体。这些问题都不是传统的有油泵所能解决的。本文的研究对象——螺杆式干式真空泵，抽气腔内无任何工作液，保证了被抽暇间不受污染;无油蒸汽排放，保证了外部环境的清洁。由于阴阳转子齿面间留有间隙，因此能够抽除含有粉尘，或有侵蚀性，有毒的气体。作者要紧着重于以下几个方面的研究：干式螺杆真空泵的大体原理。阴阳螺杆的型线研究。螺杆端面型线采纳双边对称圆弧型线，推导出啮合原理的数学表达式，成立几何模型推导出端面型线方程，继而推导出螺旋齿面方程。几何特性的研究等。

关键词：干式真空泵螺杆型线

Abstract:Recently，inthesemiconductorprocessofplasmaenhancedchemicalvapordeposition(PEVCD)andreactiveionetchi，ngin(RtIhEe)liquidcrystal

displaydevicemanufactureprocessofetchingandPLASMACVD

production,ithasnotonlyhighdemandofvacuumenvironmentcleanliness,butalsoneedtoextractahugeamountofreaction-gascontainingparticleanddust.Theconventionaloilpumpcantsolvetheproblemsmentionedabove.Theresearchobjectinthispaper-dryscrewvacuumpumphasnooperatingfluidintheextractingchamber.Itcanguaranteespaceextracted

andoutsideclean.Itcanextractgascontainingmilldust,corrosivity,andpoison,becauseithassmallgapbetweentoothfaceofmaleandfemale

rotors.Ihavefocusedontheresearchasfollowing.Theprofileresearchofmaleandfemalescrews.Theendfaceprofileisdoublesidesandsymmetricalcircles.Deducethemathematicexpressionofmeshing

principle;establishthegeometricmodelanddeducetheequationsofendfaceprofile,thentheEquationsofhelicaltoothface.Theresearchofgeometricalproper，tietsc.

Keywords：dry(oil-free)vacuumpumpscrew

干式螺杆真空泵是干式泵家族中的一员。所谓干式真空泵，一般以为是能在大气压到10-2Pa的压力范围内工作;在泵的抽气流道中，不能利用任何油类和液体，排气口与大气相通，能直接持续向大气中排气的泵，也称无油真空泵。

干式真空泵在抽气流道内无任何