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2024-03-30 发布于四川
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本实用新型实施例公开了张紧机构及晶圆贴附设备，其中，张紧机构包括：支架、第一张紧组件以及第二张紧组件；所述第一张紧组件包括第一张紧模块以及第二张紧模块，所述第一张紧模块以及所述第二张紧模块分别与所述支架连接；所述第二张紧组件包括第三张紧模块以及第四张紧模块，所述第三张紧模块与所述支架连接；所述第四张紧模块与所述第三张紧模块对立设置；所述第一张紧组件设置于所述支架的横轴方向；所述第二张紧组件设置于所述支架的纵轴方向。通过实施本实用新型实施例的张紧机构可实现改善对切割带的张紧效果，并且还能够提升产品

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220691988U

(45)授权公告日2024.03.29

(21)申请号202322379669.3

(22)申请日2023.08.30

(73)专利权人深圳市深科达智能装备股份有限

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