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本申请涉及一种滑台精度测量装置及测量方法。滑台精度测量装置包括主控单元、第一分光镜、测量单元和基准单元，第一分光镜设于主控单元的出光侧，第一分光镜将主控单元发射的第一激光分光为测量激光和基准激光；测量单元包括测量激光干涉镜组和设于移动块上的测量反射镜组，测量激光经过测量激光干涉镜组和测量反射镜组形成测量干涉光束；基准单元包括基准激光干涉镜组和与基准激光干涉镜组间距不变的固定反射镜组，基准激光经过基准激光干涉镜组和固定反射镜组形成基准干涉光束；主控单元包括接收组件和计算元件，计算元件根据接收组件接
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117781892A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202410035925.3
(22)申请日2024.01.10
(71)申请人镭神技术（深圳）有限公司
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