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本申请属于半导体芯片及集成电路封装散热技术领域，具体涉及一种用于3D‑IC的微通道相变散热装置，包括：外壳体，其具有容纳腔、顶部开口；多个散热模块，层叠设置外壳体的容纳腔内，并在容纳腔的相对的两侧分隔出第一腔室和第二腔室；过冷液导入槽，其具有内腔、过冷液流入口和过冷液流出口，并扣设在外壳体顶部；过热蒸汽导出槽，其具有内腔、过热蒸汽流出口和过热蒸汽流入口，并扣设在外壳体顶部。本申请的用于3D‑IC的微通道相变散热装置，能够确保发热部件和3D‑IC整体皆处于合理可控的温度范围之内，实现超高热流密度多
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117790440A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202311742728.7
(22)申请日2023.12.18
(71)申请人西安交通大学
地址710000
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