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本发明公开了一种激光超声振动检测装置及方法，其中装置包括光电检测器、微信号调节器、超声传感器、振动传感器、数据采集卡和处理器，通过设置光电检测器、超声传感器和振动传感器三种样品检测器，其中光电信号经分离再汇聚于检偏器上，便于进行光源的干涉，以检测样品缺陷，超声信号来自激光脉冲打在被检测样品上产生的激光超声效应，采用数据采集卡接收光电信号、超声信号和振动信号并传递至处理器，进行被检测样品缺陷光声振融合分析，从而确认是否存在缺陷，提高样品的检测精度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN109444265A
(43)申请公布日
2019.03.08
(21)申请号20181
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