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本发明公开了一种离子流诱发真空绝缘击穿实验装置及方法，该装置包括离子源、供电系统、高真空实验平台、供气系统、测试系统以及定制金属电极；该装置将离子源出口置于金属电极组件前方，通过对屏栅施加正极性电压、加速栅施加负极性电压实现离子的引出，金属电极组件内开设有用于通过离子的通孔，研究气压、电极结构及表面缺陷等因素在离子流诱导下对真空间隙击穿特性的影响。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117805565A
(43)申请公布日2024.04.02
(21)申请号202410169058.2
(22)申请日2024.02.06
(71)申请人西安交通大学
地址710049
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