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本申请提供一种晶圆检测光源，所述晶圆检测光源包括：滤光片、透镜、白光光源及光纤；光纤与白光光源之间设置滤光片及透镜；其中，光纤出射的光束通过滤光片与透镜形成三色光源，结合白光光源最终形成四色光源，其中滤光片与透镜采用不同位置、不同角度的设置。本说明书实施例通过不同位置设置相应部件及通过调节角度来实现四色光源的合束，设置不同形式的晶圆检测光源，采用本说明书实施例的晶圆检测光源进行晶圆检测无需复杂的光源调节过程，提升晶圆检测效率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117803891A
(43)申请公布日2024.04.02
(21)申请号202311845824.4G01N21/95(2006.01)
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