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一种加速度传感器敏感组件及加速度传感器芯片结构.pdf

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    本实用新型提供一种加速度传感器敏感组件及加速度传感器芯片结构，其中，加速度传感器敏感组件，包括：基板、弹性梁和电热驱动梁，弹性梁安装于基板且固接有框架，框架设有第一梳齿部，第一梳齿部包括多个间隔设置的第一子梳齿，任意相邻的第一子梳齿之间形成梳齿槽；电热驱动梁，安装于基板且位于框架内，电热驱动梁固接有支架，支架设有第二梳齿部，第二梳齿部包括多个间隔设置的第二子梳齿，第二子梳齿分别位于梳齿槽中。本实用新型提供的加速度敏感组件，实现梳齿间隙的改变，使得梳齿间隙缩小至数百纳米甚至数十纳米，提高了加速度传

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220709182U

    (45)授权公告日2024.04.02

    (21)申请号202322223785.6

    (22)申请日2023.08.17

    (73)专利权人北京细胞膜科技有限公司

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