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测试接触电阻的方法、晶圆以及晶圆测试系统.pdfVIP

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  • 2024-04-03 发布于四川
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测试接触电阻的方法、晶圆以及晶圆测试系统.pdf

    本申请实施例公开了一种测试接触电阻的方法和晶圆测试系统，属于半导体技术领域。所述方法包括：在被测晶圆的管脚电路处于有效导通状态时，测试管脚电路的输出端与测试台之间的接触电阻。当管脚电路处于有效导通状态时，管脚电路的输出端输出有效信号，比如高电平信号或低电平信号，此时管脚电路中的ESD保护子电路处于截止状态，也即ESD保护子电路并不工作。因此，在管脚电路处于有效导通状态的情况下测试接触电阻，可以避免由于ESD保护子电路工作带来的测试不准确的问题，进而提高了确定的接触电阻的阻值的准确性。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117805568A

    (43)申请公布日2024.04.02

    (21)申请号202211175895.3

    (22)申请日2022.09.26

    (71)申请人长江存储科技有限责任公司

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