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本发明提供了一种基于面阵CCD传感器自参考的反射率测量的装置和方法,属于光学测量领域。由于光源的不稳定性,在进行反射率测量时,随着环境和温度的变化,光源的光强会出现波动,从而带来传统的反射率设备测量的反射率的波动,进而影响到最终的测量结果。本发明将从光源出来的光分为两路,一路传输到面阵CCD传感器的上部或下部,作为参考光强,另一路传输到样品表面,再将反射回的光传输到面阵CCD传感器的另一部分,作为测量光强,通过参考光强的波动修正到测量光强中,将光源的不稳定性在反射率测量过程中的影响实时消除掉,这
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117805070A
(43)申请公布日2024.04.02
(21)申请号202311783569.5
(22)申请日2023.12.22
(71)申请人武汉颐思谱科技有限公司
地址4
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