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公开了一种包括MEMS扫描装置的LIDAR系统。LIDAR系统包括光源,光偏转器,传感器和处理器。光偏转器使来自光源的光或从安装了LIDAR系统的车辆外部的环境接收到的光偏转。传感器检测从光源或环境接收到的光。处理器基于来自传感器的信号来确定环境中的一个或多个物体与车辆的距离。光偏转器包括一个或多个致动器,致动器包括一个或多个致动臂。连接器将致动臂连接到MEMS反射镜或其他偏转器。当受到电压或电流形式的电场时,致动臂运动。致动臂的运动引起MEMS反射镜或偏转器的运动,从而使它偏转光。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN111615646A
(43)申请公布日
2020.09.01
(21)申请号20188
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