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本申请属于半导体技术领域，具体为一种VCSEL激光器，包括至少一个发光单元，所述发光单元包括衬底层、第一电极、第一布拉格反射镜、有源区、电流限制层、第二布拉格反射镜、第二电极以及电流扩散层，第二电极位于所述电流扩散层远离所述衬底层的一侧上，该第二电极在电流扩散层上形成封闭的环，所述第二电极延伸形成经过限制孔上方的电流扩散电极；其中所述电流扩散电极的侧壁与所述第二电极的内壁之间具有供激光穿过的间距，所述电流扩散电极与电流扩散层的电流经第二布拉格反射镜由限制孔的中间区域进入所述有源区。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117810808A
(43)申请公布日2024.04.02
(21)申请号202311857667.9
(22)申请日2023.12.29
(71)申请人浙江睿熙科技有限
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