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本发明涉及芯片拾取技术领域，具体提供一种翻转塔机构及芯片拾取方法，包括：机械手、顶针机构、X向驱动、Y向驱动和视觉校正系统，机械手设于顶针机构的上方，机械手上设置有多个可转动切换的执行器吸嘴，用于拾取芯片并放置在顶针机构上；视觉校正系统包括X向光源、Y向光源、X向棱镜、Y向棱镜和视觉传感器。相比于传统机械手，本发明配备了X向驱动和Y向驱动以及视觉校正系统，通过视觉校正系统获取机械手上每个执行器吸嘴的X向偏移量和Y向偏移量，并通过X向驱动和Y向驱动对每个执行器吸嘴进行单独的位置校正，从而将低了因为
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117810154A
(43)申请公布日2024.04.02
(21)申请号202311862450.7
(22)申请日2023.12.29
(71)申请人中科长光精拓智能装备（苏州）有限
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