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本申请提供一种激光检测装置，该装置包括：分光取样器，设置于从激光器发射出的待测激光传播的第一光路中，从所述待测激光中分离出取样激光；波形探测器，设置于从所述分光取样器分离出的所述取样激光传播的第二光路中，对所述取样激光进行采样，其中所述第二光路与所述第一光路呈非零夹角；以及杂散光过滤器，设置于所述分光取样器与所述波形探测器之间的所述第二光路中并与所述波形探测器连接，其中，沿着所述第二光路传播的所述取样激光通过所述杂散光过滤器。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220708536U
(45)授权公告日2024.04.02
(21)申请号202321012519.2
(22)申请日2023.04.28
(73)专利权人长江存储科技有限责任公司
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