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高密度相变存储器选通二
极管器件关键技术研究
汇报人：
目录
01
02
03
04
相变存储器简介
相变存储器是一种基于相变材料相变存储器具有高集成度、快速
的非易失性存储器读写速度和长寿命等优点
它利用材料在晶态和非晶态之间
选通二极管器件的重要性
选通二极管在相变存储器中起到随着信息技术的发展，对存储器
关键作用，能够控制存储单元的的要求越来越高，选通二极管器
读、写、擦除等操作件的研究对于提升相变存储器的
性能具有重要意义
选通二极管的性能直接影响相变
研究目的与意义
实现高密度存储器的发展
提高存储器的性能和可靠性
降低存储器的功耗和成本
相变存储器基本原理
相变存储器是一相变材料在晶态相变存储器具有
种基于相变材料和非晶态之间转高集成度、低功
的非易失性存储换，实现数据的耗、快速读写等
器存储和擦除优点
相变材料与特性
相变材料：硫系化合物、氧化物等
相变速度：快，可实现高速读写
选通二极管器件工作原理
结构设计方案
绝缘层和相变材料等部分
和稳定性
件的选通速度和可靠性
材料选择与制备
选通二极管器件的材材料制备过程中需控选通二极管器件的材
料选择需考虑导通电制掺杂浓度、结晶质料选择与制备需遵循
阻、耐压能力、稳定量、表面处理等工艺相关标准与规范，以
性等性能指标。参数，以确保器件性确保器件的一致性与
能的可靠性。可靠性。
器件工艺流程
l器件结构设计：确定器件的几何形状、尺寸和材料
l制造流程：包括外延生长、光刻、刻蚀、镀膜等工艺步骤
l测试与验证：对制造完成的器件进行性能测试和可靠性验证
电学性能测试
测试项目：正向电压、反向电
流、击穿电压等
测试方法
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