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本申请公开了一种承载装置和检测设备,该承载装置包括承载基体和吸盘件。承载基体具有承载侧,承载侧用于承载工件。承载侧具有分隔结构,分隔结构将承载侧分隔为多个吸附区域,每个吸附区域内均具有吸附槽和位于吸附槽内的吸附孔。每个吸附区域内均设置有至少一个吸盘件,吸盘件可选择性地靠近或远离承载侧,用以承接工件并将工件运送至承载侧。本申请由于在承载装置上设置了多个吸附区域,当承载装置对工件进行吸平时,部分吸附区域会先将工件上对应的部分吸平,并使完成吸平的吸附区域不易向外漏气,从而带动其他吸附区域更快和更容易地
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220699369U
(45)授权公告日2024.04.02
(21)申请号202322282042.6
(22)申请日2023.08.23
(73)专利权人深圳中科飞测科技股份有限公司
地
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