一种基于无转移PMMA和PI的渗透性标准漏孔的氦气渗透性能研究.pdfVIP

第61卷第1期真空VACUUMVol.61，No.1

2024年1月Jan.2024

一种基于无转移PMMA和PI的渗透性标准漏孔的氦气渗透性能研究*

方庆国，王宗林，张俊，王旭迪

（合肥工业大学机械工程学院，安徽合肥230009）

摘要：研制了一种基于无转移聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）或聚酰亚胺（PI）的漏孔元件。通过在铜

箔上旋涂PMMA或PI，另一面旋涂光刻胶，并利用紫外光刻打孔，在铜箔上刻蚀出了不同阵列的直径约

10μm的小孔。基于差压法测量了氦气通过该标准漏孔元件的流导。结果表明：在从5kPa到10Pa压5

力范围内，各测试样品均表现出分子流动状态；无转移PMMA或PI的流导和有效渗透面积呈线性关系，

可通过控制小孔数量来控制PMMA或PI的有效渗透面积，从而获得不同的流导；所开发的无转移PMMA

或PI为优良的低渗透漏孔理想材料。

关键词：无转移；聚甲基丙烯酸甲酯；聚酰亚胺；渗透型漏孔；恒定流导

中图分类号：TB77文献标识码：A文章编号：1002-0322（2024）01-0068-06

doi：10.13385/j.cnki.vacuum.2024.01.11

HeliumPermeationPerformanceStudyofaPermeableStandardLeakElementBasedon

Transfer-freePMMAandPI

FANGQing-guo,WANGZong-lin,ZHANGJun,WANGXu-di

（SchoolofMechanicalEngineering,HefeiUniversityofTechnology,Hefei230009,China）

Abstract：Astandardleakelementbasedontransfer-freepolymethylmethacrylate(PMMA)orpolyimide(PI)wasdeveloped.The

fabricationprocessinvolvedspin-coatingPMMAorPIonacopperfoil,followedbyspin-coatingphotoresistontheoppositeside,and

subsequentlycreatingsmallholesofdifferentarrayswithadiameterofabout10μmonthecopperfoilusingUVlithography.The

flowconductanceofheliumthroughtheleakelementwasmeasuredbythedifferentialpressuremethod.Theresultsshowthatthe

samplesallexhibiteamolecularflowregimewithinthepressurerangefrom5kPato10Pa.Theflowconductanceoftransfer-free5

PMMAorPIshowsalinearrelationshipwiththeeffectivepermeationarea,andtheeffectivepermeabilityareaofPMMAorPIcanbe

controlledbycontrollingthenumberofsmallholes,therebyobtainingdifferentflowconductance.Thetransfer-freePMMAorPI

materialsdevelopedinthisstudyareidealforlow-permeationleakelements.

Keywords：transfer-free;PMMA;PI;permeationleak;