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第４５卷第１期计量学报Ｖｏｌ．４５，№１

２０２４年１月ＡＣＴＡＭＥＴＲＯＬＯＧＩＣＡＳＩＮＩＣＡＪａｎｕａｒｙ，２０２４

ｄｏｉ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１０００１１５８．２０２４．０１．０４

圆锥面拟合的太赫兹发散角精密测量研究

黎雅恬，方波，邬佳璐，方灿，蔡晋辉

（中国计量大学计量测试工程学院，浙江杭州３３００１８）

摘要：针对太赫兹（ＴＨｚ）光束发散角精密测量问题，以单频连续波太赫兹源为研究对象，搭建了基于圆锥面

拟合的太赫兹发散角测量装置。通过研究太赫兹光束的传播模式，分析其在空间上的光强分布特性，提出将太赫

兹输出光束在远场范围内视作圆锥曲面，利用太赫兹探测器采集光斑图像，根据图像的边缘点坐标构建圆锥曲面，

借助间接平差对边缘点数据做预处理并进行参数迭代与圆锥面拟合计算出光束发散角数值。结果表明，被测

１００ＧＨｚ的太赫兹源发散角为２７３°，相对扩展不确定度为３８％（ｋ＝２）。

关键词：发散角测量；太赫兹光束；圆锥面拟合；太赫兹探测器；不确定度评定

中图分类号：ＴＢ９６文献标识码：Ａ文章编号：１０００１１５８（２０２４）０１００２４０６

ＰｒｅｃｉｓｅＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｏｆＴｅｒａｈｅｒｔｚＤｉｖｅｒｇｅｎｃｅＡｎｇｌｅ

ｆｏｒＣｏｎｉｃａｌＳｕｒｆａｃｅＦｉｔｔｉｎｇ

ＬＩＹａｔｉａｎ，ＦＡＮＧＢｏ，ＷＵＪｉａｌｕ，ＦＡＮＧＣａｎ，ＣＡＩＪｉｎｈｕｉ

（ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＭｅｔｒｏｌｏｇｙａｎｄＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＣｈｉｎａＪｉｌｉａｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｈａｎｇｚｈｏｕ，Ｚｈｅｊｉａｎｇ３１００１８，Ｃｈｉｎａ）

Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ａｉｍｉｎｇａｔｔｈｅｐｒｅｃｉｓｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｏｆｔｅｒａｈｅｒｔｚ（ＴＨｚ）ｂｅａｍｄｉｖｅｒｇｅｎｃｅａｎｇｌｅ，ａｔｅｒａｈｅｒｔｚｄｉｖｅｒｇｅｎｃｅａｎｇｌｅ

ｍｅａｓｕｒｉｎｇｆａｃｉｌｉｔｙｂａｓｅｄｏｎｃｏｎｉｃａｌｓｕｒｆａｃｅｆｉｔｔｉｎｇｗａｓｃｏｎｓｔｒｕｃｔｅｄｂａｓｅｄｏｎｓｉｎｇｌｅｆｒｅｑｕｅｎｃｙｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓｗａｖｅｔｅｒａｈｅｒｔｚ

ｓｏｕｒｃｅＢｙｉｎｖｅｓｔｉｇａｔｉｎｇｔｈｅｐｒｏｐａｇａｔｉｏｎｍｏｄｅｏｆｔｅｒａｈｅｒｔｚｂｅａｍａｎｄａｎａｌｙｚｉｎｇｉｔｓｓｐａｔｉａｌｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｏｆｉｎｔｅｎｓｉｔｙ

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