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本发明公开一种基于PD阵列的光芯片快速测试方法，所述测试装置包括光源输入机构、运动控制机构、光功率测试模块和计算机控制模块；所述光源输入机构包括：激光器、单通FA和分路器；所述运动控制机构包括：六轴调整架、位移传感器、芯片限位夹持机构、所述光功率测试模块包括：PD测试阵列；所述芯片限位夹持机构用于光芯片的输出端面与所述运动控制机构保持相同距离；所述芯片限位夹持机构设置在单通FAPD测试阵列之间；所述芯片限位夹持机构上设有限位挡板，本发明通过PD阵列来同时接收来自多个芯片的光信号；实现同时对多个芯
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117824997A
(43)申请公布日2024.04.05
(21)申请号202311724145.1
(22)申请日2023.12.15
(71)申请人浙江大学绍兴研究院
地址312
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