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提供了一种等离子体生成系统，其包括：可变频微波发生器，其被配置为生成微波功率；和等离子体施加器，其被配置为使用来自微波发生器的微波功率来(i)对其中的工艺气体进行点火以在等离子体点火过程中引发等离子体和(ii)将等离子体保持在稳定状态过程中。该系统还包括连接在微波发生器和等离子体施加器之间的粗调谐器。粗调谐器的至少一个物理参数适应于被设置为实现微波发生器与在等离子体点火过程和稳定状态过程二者期间生成的等离子体之间的粗阻抗匹配。在等离子体点火过程和稳定状态过程期间生成的等离子体的负载阻抗适应于变化
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117836897A
(43)申请公布日2024.04.05
(21)申请号202280056245.9(74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公
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