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2024-04-06 发布于四川
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一种MEMS大角度光学扫描系统.pdf

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本发明提供涉及光学技术领域，尤其涉及一种MEMS大角度光学扫描系统，包括：激光发射模块、光束控制模块、激光探测模块和控制器，所述激光发射模块发射激光脉冲发射光束，先后经所述MEMS微镜的反射、光学扩束元件的折射到视场空间，所述光学扩束元件将点状激光光斑扩束为线状光斑，并且，随着MEMS微镜在水平方向扫描，最终形成方形的视场空间。本发明实施例提出的MEMS大角度光学扫描系统，扩大光扫描视场，减小对收发器对数的依赖，缩小封装尺寸，大幅降低成本，延长使用寿命。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117826122A

(43)申请公布日2024.04.05

(21)申请号202311781225.0

(22)申请日2023.12.21

(71)申请人合肥领航微系统集成有限公司

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