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本发明公开了一种净化硅片内部杂质装置及方法，属于光伏太阳能板生产技术领域，其中，包括传送机构，设于腔室内，可以用于带动硅片在所述腔室内移动；喷气管，位于所述传送机构内部，其末端连接有正对所述传送机构上的喷头，所述喷头朝向所述传送机构上的硅片喷出湿润的气体；温控机构，包裹在所述喷气管上，用于为所述喷气管内流经的所述气体加热形成湿热的气体，所述湿热的气体接触所述硅片后，在预设温度下，与所述硅片发生氧化还原反应形成一层氧化物薄膜。通过在硅片一面形成氧化物薄膜，可以有效降低成本，提高生产效率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117832321A
(43)申请公布日2024.04.05
(21)申请号202311611580.3
(22)申请日2023.11.29
(71)申请人安徽光势能新能源科技有限公司
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