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基板处理方法和基板处理系统.pdfVIP

基板处理方法和基板处理系统.pdf

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    一种基板处理方法，用于处理基板，所述基板处理方法包括：对所述基板的表面进行磨削；向磨削后的所述基板的表面供给蚀刻液，来蚀刻该表面；以及向蚀刻后的所述基板的表面供给清洗液，来去除附着于该表面的金属。另外，一种基板处理系统，用于处理基板，所述基板处理系统具有：磨削部，其对所述基板的表面进行磨削；蚀刻液供给部，其向磨削后的所述基板的表面供给蚀刻液，来蚀刻该表面；以及清洗液供给部，其向蚀刻后的所述基板的表面供给清洗液，来去除附着于该表面的金属。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117836908A

    (43)申请公布日2024.04.05

    (21)申请号202280056923.1(74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事

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