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本发明涉及一种用于半导体晶粒双面同时等光程成像的远心镜头，包括沿光线入射方向依次设置的直角转向棱镜、立方分束器、第一镜片、第二镜片、第三镜片、第四镜片、第五镜片、第六镜片和第七镜片；第一镜片为双凸透镜、第二镜片为双凸透镜、第三镜片为凹凸负透镜、第四镜片为凸凹正透镜、第五镜片为双凹透镜、第六镜片为凹凸正透镜，第七镜片为双凸透镜，其中第二镜片和第三镜片组合为一个胶合透镜。本发明远心镜头分辨率高、镜头的MTF在奈奎斯特频率为100lp/mm时全视场都大于0.4，光学畸变
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117826385A
(43)申请公布日2024.04.05
(21)申请号202310131725.3
(22)申请日2023.02.18
(71)申请人泉州师范学院
地址362000
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