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PECVD一般异常处理.pdfVIP

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  • 2024-04-07 发布于天津
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PECVD一般异常处理.pdf

    PECVD：等离子增强化学气相淀积，英文全称为

    PlasmaEnhanceChemicalVapourDeposition

    目录：

    一、镀膜原理

    二、管式PECVD镀膜的各工艺参数具体控制范围

    三、PECVD膜的作用、简述膜的特性。

    四、常见的异常情况

    管P部分

    平板部分

    一、镀膜原理

    所谓等离子体，是指气体在一定条件下受到高能激发，发生电离，部分外层电子脱离原子核，

    形成电子、正离子和中性粒子混合组成的一种形态，这种形态就称为等离子态。

    等离子体在化学气相沉积中有如下作用：

    (1).将反应物中的气体分子激活成活性离子，降低反应所需的温度；

    (2

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