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MEMS可动结构接触可靠性的研测试的开题报告

题目：MEMS可动结构接触可靠性的研测试

一、研究背景

现代MEMS技术的快速发展，使得微机电系统逐渐成为各领域应用的重要组成部分。其中，MEMS可动结构作为最常见的一类，应用广泛。然而，由于可动结构自身的特殊性质，其接触可靠性成为了一个重要的问题，在MEMS器件的使用寿命中起到了至关重要的作用。

二、研究目的

本文旨在研究MEMS可动结构的接触可靠性，通过对接触力的测试及分析，评估可动结构在实际应用中的稳定性，探索提高其可靠性的途径，为MEMS技术的发展提供基础研究支持。

三、研究内容

本研究将围绕以下几个方面展开：

1.MEMS可动结构的设计及制备。

2.可动结构接触力的测试及分析，探究接触力对可动结构性能的影响。

3.可动结构的稳定性测试，评估其在常规应用中的使用寿命。

4.探索提高可动结构接触可靠性的技术途径，如表面涂层、结构优化等。

四、研究方法

将采用计算机辅助设计软件和微纳米加工技术制备MEMS可动结构，采用纳米探针测试系统及SEM等高精度测试和分析工具，对可动结构接触力进行测试和分析，同时对可动结构进行稳定性测试，以及进行表面涂层和结构优化实验。

五、预期成果

通过本研究，将获得以下成果：

1.MEMS可动结构设计及制备技术。

2.可动结构接触力的测试及分析，探究接触力对可动结构性能的影响。

3.可动结构的稳定性测试成果，评估其在常规应用中的使用寿命。

4.提高可动结构接触可靠性的技术途径研究成果，为MEMS器件的可靠性提供基础研究支持。

六、拟定进度

第1-2个月：开展背景资料的收集整理、研究内容的构思、实验方案的设计。

第3-5个月：进行MEMS可动结构的设计及制备，进行接触力测试。

第6-8个月：进行稳定性测试，分析实验数据，初步探索可靠性提升的技术方法。

第9-10个月：进行表面涂层和结构优化实验，进一步提高可动结构的可靠性。

第11-12个月：研究报告的撰写，论文发表。

七、参考文献

1.XudongGao,ZhengCui,HaixiaAi,LeiLiu,TaoLiu,JingyanFu,DewenZeng.AMEMSTunableCapacitorwithHighReliabilityandWideTuningRangeforRFFront-EndApplications.JournalofMicroelectromechanicalSystems,2015,24(6),1725-1733.

2.XiaomingZhang,LeiZhang,WeihuaLi,YufengJin.AMEMSInertialMicroswitchBasedonMechanicalResonanceCombiningElectrostaticActuationandMagneticSensing.JournalofMicroelectromechanicalSystems,2015,24(2),463-471.

3.IshidaM,HattoriH,TadaY,OsawaS,HayashidaM,TakaoH,IkedaM,SugiyamaS,HaneK.EffectofContactForceontheStaticPerformanceofElectrostaticMicro-actuators.JournalofMicroelectromechanicalSystems,2016,25(5),826-834.