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薄膜晶体管(TFT)基础知识.pdfVIP

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  • 2024-04-10 发布于中国
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薄膜晶体管(TFT)基础知识.pdf

    关于TFT

    Thinfilmtransistor(TFT):薄膜晶体管

    原理类似于MOS晶体管，区别在于MOS是凭借反型层导电，TFT凭借多子的积累导电。

    常见TFT结构：底栅结构（BG）、顶栅结构（TG）和双栅结构（DG）如下图所示

    源极漏极栅极栅极

    有源层绝缘层源绝缘层漏

    极有源层极

    绝缘层有源层

    绝缘层

    栅极源极漏极栅极

    衬底衬底衬底

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