薄膜中ZnOAg的相对厚度对电学性能的影响.docxVIP

引言

镀膜玻璃是在玻璃表面镀制一层或多层金属、合金或金属化合物薄膜，以改变玻璃的光学性能，满足某种特定要求，而低辐射镀膜玻璃是镀膜玻璃中的一种。低辐射镀膜玻璃是对4.5～25?μm红外线有较高反射比的镀膜玻璃，其极大地降低了玻璃表面的辐射率，玻璃辐射率从0.84降低至0.15以下。随着人们节能减排意识的增强，市场对低辐射镀膜玻璃的要求也随之增高，人们不再单纯地关注玻璃的外观颜色，而更多的开始关注玻璃的性能。而性能的提升和银层的生长息息相关。由于银与其他材料之间的键能很低，因此银层想要达到膜厚一致，在沉积过程就需要经历很多中间的、不连续的阶段。在开始的时候银以核结构的形式存在，这时红外线反射率很低，并且红外线反射率并不随着银层的有效厚度提高而增长。随着银层厚度的持续增加，结构由核结构逐渐生长为岛状结构，然后形成通道、空洞，最后形成连续的薄膜。人们将当“通道”形成的这个点称为“渗透极限”。而使用氧化锌等材料可以适当地将银层的渗透极限减低，这已经被镀膜玻璃生产企业所认可，这也是生产企业进行膜层设计时需要考虑的。

如果银层生长的不够光滑，表现为结构上具有缺陷和表面粗糙，膜层中点电子将会发生散射，对金属层的电阻率、迁移率及其他数据带来明显的影响，从而影响到银层反射红外线的能力。因此，通过霍尔效应测试仪对样品进行测量，通过对测量数据的分析，则可以判断银层的生长质量。

实验

（1）薄膜制备。采用