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氦测漏

一．为什么要做氦测漏，为什么要使用HE？及氦测漏标准。更精确测漏，因为我们氦测漏的标准是1*10-9mbar.l/sec,亦既是大约30年漏1CC，如果保压达到这个精确度，在时间上是不允许的，而氦测漏达到这个标准则只须几小时至 24 小时之间，所以我们要做氦测漏。

使用HE是因为HE是非常轻的气体，比重约为空气的0.14

倍，气体越轻，分子量越小，就越容易被吸入待测物。

氦测漏标准：LR（leakrate）=1.0*10-9mbar.l/sec. PE(pressureentrance)=1.0*10-3mbar

LR=1.0*10-9mbar.l/sec亦既是每秒的漏率为0.000000001CC

PE=1.0*10-3mbar亦即是入口端压力为0.001mbar

二．MODUL200和UL1000的区别及操作方法。

1区别（1）外观的区别（2）功率UL1000能抽到-12，而UL200只能抽到-11。（3）UL200易倾覆，UL1000则很稳固（4）UL1000显示屏可做270°旋转

MODUL200的操作方法：

打开PUMP电源，暖机数分钟

打开分析仪电源，再暖机数分钟

待到MS，分子泵，阀三灯一起亮时，按START（按START前，检查氦测漏机出口阀是否关闭）

如LR数值抽不下来，应先VENT，如VENT后依然抽不下来，按STOP键，再按校正键CAI校正

校正完成后，按STOP后，打开氦测漏机的出口阀抽待测管路

待抽到PE=1.0*10-3mbarLR=1.0*10-9mbar.l/sec时喷氦气进行氦测漏测试。

如喷过后数值无大的变化（一直减小）确认无漏后，按住STOP三秒，VENT管路。

检测完成后，拆除氦测漏机，氦测漏测试完毕。

.UL1000的操作方法。

启动 UL1000FAB 测漏仪，三分钟内测漏仪会进入

“STAND BY”状态

压按测漏仪的START键，使测漏仪进入自抽状态

以大型真空袋覆罩测漏仪，在对真空袋内锝测漏仪下方喷氦气，观察测漏仪的氦气读值是否上升，以判断测漏仪是否外漏。

利用适当之转接头将氦测漏仪与待测管路连接

启动氦测漏仪，当进入STANDBY状态时按START键，待真空压力抽至低于10TORR后，对待测物喷氦气，进行氦测漏测试。

待氦测漏完成后，START键三秒，使氦测漏仪进入

VENT状态，将CHAMBER破真空

将CHAMBER破真空后，测漏仪关机，拆除测漏仪后

将进口密封后，氦测漏完成

三．氦测漏的正负压测漏法

负压测漏，将待测管路抽真空，喷洒氦气测漏

正压测漏，向待测管路注入10%HE/N2，在氦测漏机出口端阀接SNIFF（探针）使用探针在焊道和接点处查漏。

四．喷洒氦气注意事项

喷氦气时，应由上而下，由下风处至上风处，循序对各个接点处（焊点）喷洒氦气

喷洒氦气时，应以小真空袋或无尘手套，PVC袋子包覆测量点及喷枪嘴，以防止氦气四处扩散，造成误判，每喷完一个测量点，如果数值无大的变化（一直减小）再继续喷下一个测量点。如果确认测量点有漏，应先以真空黏土包覆该处后，再继续测其他点是否有漏。

当测漏仪测得小漏，造成氦气背景值过高时，可

按测漏仪的“ZERO”键使背景值归零后，即可继续测漏

五．简易故障信号及排除方法1． UL1000

W73 ，误动作造成压力突升或有大漏，阀门突然被打开。

E34 ，MSVBOARD电压异常，应立即关机，检

查MSVBOARD上的保险丝。

2． MODUL200

W72 ，W73：有大漏或阀门被突然打开。应先关闭，在重启仪器。

E78 ，标准漏的阀门未关紧。关机后锁紧在重启仪器

W80 ，主机要求重新校正。

W81 ，校正无法完成。检查标准漏。