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2024-04-10 发布于四川
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一种晶圆专用储存架.pdf

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本实用新型公开了一种晶圆专用储存架，包括放置架，所述放置架的内侧等距设置有多个层架，所述层架的内侧开设有放置槽，所述层架上位于放置槽的外侧还开设有U型槽口，所述层架的两端设置有螺纹杆，所述螺纹杆上设置有转杆，所述放置槽的内侧位于螺纹杆的一端安装有夹板，所述夹板的一侧设置有夹块，所述夹块的一端设置有限位杆；通过设置的该可调节的储存架，当使用该储存架放置晶圆时，若需要存放不同规格与类型的晶圆时，可调节层架的大小，使得在该储存架上可放置不同类型大小的晶圆，且放置时还可进行夹持，保证晶圆放置的稳定性，避

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220743862U

(45)授权公告日2024.04.09

(21)申请号202322403018.3

(22)申请日2023.09.05

(73)专利权人台舟电子股份有

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