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基于伯努利原理的晶圆传送控制方法及传送控制系统.pdfVIP

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  • 2024-04-10 发布于四川
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基于伯努利原理的晶圆传送控制方法及传送控制系统.pdf

    本申请公开基于伯努利原理晶圆传送控制方法及传送控制系统，涉及半导体领域，包括：通过计算机模拟技术获取历史数据；构建混合深度神经网络模型并利用历史数据训练；在晶圆传送带上设置气嘴，将晶圆数据输入混合深度神经网络模型，生成第一传送数据；气嘴根据第一传送数据控制气流在晶圆和传送带之间形成气垫，通过悬浮气垫对晶圆进行传送；在晶圆传送带上设计实时监测系统，实时监测晶圆传送，得到实时监测数据；引入自适应控制算法，对第一传送数据进行实时调整，生成第二传送数据；气嘴根据第二传送数据进行实时调整；第二传送数据反馈

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117855132A

    (43)申请公布日2024.04.09

    (21)申请号202410259080.6H01L21/677(2006.01)

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