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本发明公开了一种基于中字形行波电极结构的薄膜铌酸锂光调制器，包括衬底、氧化硅层和铌酸锂薄膜，所述氧化硅层位于所述衬底的一侧并且所述铌酸锂薄膜位于所述氧化硅层远离所述衬底的一侧，所述铌酸锂薄膜设有若干凸出的脊形波导结构；所述脊形波导结构包括第一调制臂和第二调制臂，所述第一调制臂和所述第二调制臂远离所述氧化硅层的一侧设置有氧化硅上盖层；所述氧化硅上盖层远离所述铌酸锂薄膜的一侧设置有GSG行波电极和若干中字形金属电极。本发明公开的一种基于中字形行波电极结构的薄膜铌酸锂光调制器，克服上述技术的缺陷，使其
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117850074A
(43)申请公布日2024.04.09
(21)申请号202311625375.2
(22)申请日2023.11.30
(71)申请人浙江大学绍兴研究院
地址312
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