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成对电极共面放电等离子体发生装置.pdfVIP

成对电极共面放电等离子体发生装置.pdf

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    本发明涉及等离子体产生和低温等离子体技术领域，具体公开一种成对电极共面放电等离子体发生装置，它包括介质和若干对成对电极；成对电极为两个间距较近、正负极性相同的电极；相邻的成对电极之间的正负极性相反。本发明通过设计间距较近、正负间隔的成对电极形成间隔电极效应，保证了等离子体放电的稳定，有利于介质表面形成均匀放电的等离子体层。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN106714434A

    (43)申请公布日2017.05.24

    (21)申请号201510420845.0

    (22)申请日2015.07.17

    (71)申请人核工业西南物理研究院

    地址610

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