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高效过滤器泄漏检查方案

1测试目的

通过对洁净室内已安装的高效过滤器进行PAO检漏，确认高效滤

器的完整性及其安装的密封性。

2测试方法：PAO法。

3测试状态与前提条件

◆静态；

◆已完成风量/风速测试，结果符合规定；

4合格标准

受检KLC高效过滤器测得的穿透率的最大值不得大于“出厂合格

穿透率”的2倍。

注1:“出厂合格穿透率”可通过受检高效过滤器铭牌上标注的过

滤效率换算而得。

K=1-α

式中K——出厂合格穿透率

α——铭牌上标注的过滤效率。

注2:本次检测的高效过滤器铭牌上标注的过滤效率

为,换算成“出厂合格穿透率”为。故本检

漏的合格标准为：测得的穿透率≤。

5测试操作

5.1准备工作

卸下高效过滤器的散流板，对箱体和框架进行清洁，避免积尘对

检测产生干扰。

准备好惰性气体的气源(通常使用氮气)。

5.2气溶胶烟雾的引入

用外径为1/4的塑料管将气溶胶发生器的惰性气体入口与装有

压力调节阀的氮气瓶出口连接。

将气溶胶发生器的安放在空气净化系统风机柜的中效后面(若中

效过滤器后面没有空间，需拆除中效后放置)。

气溶胶发生器通电加热，使温度达到393.3℃—404.4℃。开启喷

嘴调节阀，开启氮气源及其调节阀，调节气溶胶烟雾的输出量。

5.3参数设定

气溶胶光度计初始化、0%参比标准值设定。

100%基准的设置：将采样管穿过预留或现场新开的验证孔，一端与上游(高效过滤器进风侧)采样口连接，另一端与气溶胶光度计接通，测定上游气溶胶浓度。调节气溶胶发生器输出阀的开合度，直至

确认上游浓度达到10-20μg/L,将此基数设定为100%。

注：如果高效过滤器已预留验证孔，则每个高效过滤器扫描前，先进行100%基准的复核。如果高效过滤器没有预留验证孔，则选择主风管末端有代表性的高效过滤器开孔做行100%基准的设置点。对支管上再分支的高效过滤器，测试时，开孔单独进行100%基准的复

核和设置。

5.4光度计扫描

用光度计的采样头对整个高效过滤器的工作面(包括滤器与边框之间、边框与边框之间以及边框与静压箱之间)进行扫描。扫描时，采样头离过滤器距离约2-4cm,速度约在3-5cm/s之间。扫描按直线来回往复地进行，线条间应重叠。检测过程中，若有报警灯闪烁和/

或报警声，表明有泄漏。

注意：扫描过程中避免箱体上的积灰干扰，尤其是采样头不能接

触高效风口箱体或过滤器的框架。

6测试结果

各洁净室高效过滤器测得的穿透率数据，及检测结果示意图详见

第页～第页之记录。

7结果分析

本次检测对车间级区个房间个已安装高效过滤器进行了泄漏测试，测试数据证明：该区域已安装

的高效过滤器的完整性和安装的密封性

□符合相关标准的要求，可以投入使用；

□部分高效过滤器泄漏，需更换后重新测试；

□部分高效过滤器与静压箱连接的边框泄漏，需拆卸重新安装或

采取相应的密封措施后重新测试；

二洁净区高效过滤器检漏测试

摘要目的：准确检测高效过滤器的质量，以避免高效过滤器泄漏，影响生产。方法：用尘埃粒子计数嚣检测高效过滤器是否有泄漏现象。结果：检测各点的悬浮粒子若超出洁净区要求的范围则有泄漏

现象，需堵漏或更换。结论：本法操作简便、准确。

关键词：洁净区；悬浮粒子；高效过滤嚣

中圈分类号：R914.2文献标识码：A文章编号：

1006—2882{2006}02—111—02

在洁净室中，高效过滤器是实现高洁净度空气净化的关键设备。

因此，高效过滤器安装或更换后，必须对过滤器的安装连接处进行检漏，以确保洁净室的洁净度符合要求“。洁净度百级状态下悬浮粒

子最大准许数为≥0.5~tm3500个/。

1仪器

尘埃粒子计数器苏州市长春电子仪器厂CU—BⅡ型

2实验原理

应用光散射原理，计数测定时利用光电倍增管接受尘埃粒子反射

的光以测定其大小和数量，并加以分析累计及数字显示。

3实验方法

3.1环境条件：温度控制在18—26℃;相对湿度控制在

45—65%

3.2测试状态：静态测试，室内测试人员不得多于2人。

3.3压差：针对室内不同洁净度房间而言，静压差5Pa,洁净区与非洁净区之问静压差10Pa;对工艺过程中产尘量大的房间与其

他房间应保持相对负压。

3.4测试方法

3.4.1将尘埃粒子计数器用注射用水及75%酒精擦试消毒后

再经紫外线照射30分钟传入洁净区。

3.4.2将尘埃粒子计数器水平位置放在桌上。测量塑料管端口

接插在过滤器的接嘴上。

3.4.3