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- 2024-04-10 发布于四川
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本申请提供了一种接触机构及点亮装置,包括:接触结构,包括第一探针和第二探针,所述第一探针和第二探针在第一方向上相对设置,且所述第一探针和第二探针之间形成有至少能够容纳工件的容纳腔;第一驱动结构,分别与所述第一探针和第二探针传动连接,能够驱动所述第一探针和第二探针沿第二方向移动,以至少使工件的接触部位能够容纳在所述容纳腔内,所述第二方向与所述第一方向相互垂直;第二驱动结构,分别与所述第一探针和第二探针传动连接,能够驱动所述第一探针和第二探针沿第一方向移动,使所述第一探针或第二探针能够与工件的接触部
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220752186U
(45)授权公告日2024.04.09
(21)申请号202322203343.5
(22)申请日2023.08.15
(73)专利权人深圳市大族半导体装备科技有限
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