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本发明提供一种在铅垂方向上具有短的长度的基板处理装置。基板处理装置(1)具备基板保持部(41)、护罩(51)、刷子(61)、马达(81)和臂(71)。基板保持部(41)将基板(W)以水平姿势保持。护罩(51)配置在基板保持部(41)的侧方。马达(81)使刷子(61)旋转。臂(71)支承刷子(61)和马达(81)。臂(71)使刷子(61)和马达(81)移动。当臂(71)将刷子(61)配置到处理位置(Qa)时，刷子(61)与基板保持部(41)所保持的基板(W)接触。当臂(71)将刷子(61)配置到处
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117855084A
(43)申请公布日2024.04.09
(21)申请号202311215653.7
(22)申请日2023.09.20
(30)优先权数据
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