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描述了用于增加具有离子的低角分散的峰值离子能量的系统和方法。在所述系统中的一者中，耦合到与等离子体室相关联的上电极的多个射频(RF)发生器在两种不同状态(例如，两种不同频率电平)下操作，以使RF发生器的脉冲发生。RF发生器的脉冲发生有利于将一种状态期间的离子能量转移到另一种状态，以在该另一种状态期间增加离子能量，从而进一步提高加工衬底的速度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN111295731A
(43)申请公布日
2020.06.16
(21)申请号20188
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