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本发明公开了一种基于超表面结构紧凑型长波红外多光谱探测器件设计方法，首先选择ZnSe与Ge作为调控材料并确定单元结构和层数；使用FDTD电磁模拟软件进行仿真，建立不同结构超表面的透射率数据库；再进行相关性计算，选取组内相关性最小的一组数据；对选取的数据进行精细加工误差分析，设计对齐标记位，进行先进封装；最后对封装后的器件进行校准、数据采集，再对获得数据进行计算光谱重建，最终获得高分辨率长波红外多光谱信息。本发明提出了一种超紧凑、高分辨率、实时性强的光谱探测器件设计方法，可以实现无接触式、远距离、
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117852112A
(43)申请公布日2024.04.09
(21)申请号202311762744.2
(22)申请日2023.12.20
(71)申请人西北工业大学
地址710072
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