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本发明公开一种多功能晶圆清洗干燥设备，包括底架，所述底架的顶部固定连接有安装架，所述底架的顶部且位于安装架的内部固定连接有密封门，所述底架的顶部设置有吊装架，所述吊装架的内部设置有用于输送晶圆的吊架，所述吊装架的内部设置有用于输送晶圆的吊架，配合底架上设置的上料组件、超声清洗组件、洗刷组件、吹干组件和下料组件，当吊架每移动一段距离，该吊架上一组夹块对晶圆送至一下个清洗阶段后，而吊架上其余组的夹块能够对其他晶圆进行该阶段的清洗步骤，通过该种方式能够实现对多个晶圆的清洗，同时保证每个阶段的清洗只对一
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117855081A
(43)申请公布日2024.04.09
(21)申请号202310157961.2B08B1/20(2024.01)
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