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本发明公开一种大变形量低应变速率轧制制备镍钒溅射靶材的方法，属于金属材料加工大塑性变形技术领域。所述方法包括对镍钒铸锭依次进行均匀化退火，低应变速率下大变形量冷轧和再结晶退火。高均匀化退火温度提高材料塑性，低应变速率轧制能够达到96.6％大变形量，短时再结晶退火保留低应变速率轧制所获得的取向，以及生成细小的再结晶晶粒。所获得镍钒靶材平整度高，表面质量好，经过简单机加工获得镍钒溅射靶材；所获得镍钒靶材组织致密缺陷少，镍钒靶材取向统一，织构成分单一，组织均匀，晶粒细小，晶粒尺寸≤80μm，且保持无磁
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117840220A
(43)申请公布日2024.04.09
(21)申请号202410177172.X
(22)申请日2024.02.08
(71)申请人昆明理工大学
地址650093
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