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    本发明涉及一种自动解键合机，其衬底吸附加热装置包括上连接板、设置于所述上连接板下侧面的上真空吸盘以及设置于所述上连接板上侧面的焊接波纹管，向焊接波纹管内充气后，通过焊接波纹管的伸长能驱动上真空吸盘向靠近正下方的衬底吸附固定顶片装置运动，上真空吸盘与衬底吸附固定顶片装置上的键合衬底组接触后，通过上真空吸盘能对键合衬底组加热直至使得键合衬底组解键合，解键合后得到的下衬底能吸附在衬底吸附固定顶片装置上，解键合后得到的上衬底能吸附在上真空吸盘上。本发明结构紧凑，能有效确保解键合过程中上真空吸盘与下真空吸

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN110040684A

    (43)申请公布日

    2019.07.23

    (21)申请号20191

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